半岛,尼得科仪器株式会社开发出适用于真空环境的液晶基板搬运机器人

　　尼得科股份有限公司的团体公司尼得科仪器股份有限公司(旧日本电产三协)开辟出了可以或许在真空情况下工作的液晶基板搬运机械人,该机械人具有与在年夜气情况下工作划一的关节自在度。

　　在液晶面板和无机EL等显示器的制造工艺中,为了同时实现出产本钱的削减和屏幕尺寸的年夜型化,不竭需要更年夜的母博璃基板和更快的处置速度。因为可搬运的博璃尺寸越年夜搬运效力就越高,是以最近几年来对3m×3m年夜尺寸母博璃基板的搬运需求不竭增添。母博璃基板的薄膜处置、蒸镀等工艺需要极高干净度的真空情况,是以,搬运机械人也必需具有能承受真空情况的机能。

　　尼得科仪器在用在无机EL基板蒸镀工艺的搬运机械人范畴中,全球市场份额名列前茅,本产物也充实应用了该专有手艺。在真空情况下工作的机械人,其各个关节都内置了密封装配,以避免空气和尘埃等从机械人的机器臂等内部逸出,这常常是致使可动关节自在度下降的缘由。为此,尼得科仪器产物采取了与减速机一体化的磁性密封件,能够将密封件的利用数目节制在最小规模,确保了与年夜气情况划一的自在度。为了知足客户的需求,产物线包罗盘旋镖式和SCARA式两种臂型,两种臂型采取的是能够通用的单位,有用地节制了本钱。

　　尼得科仪器作为全球颇具实力的分析机电制造商的一员,此后将继续为制造舒服的社会供给无益的处理方案。

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